| 序號(hào) | 代碼 | 股票名稱 | 說明 |
| 1 | SH688147 | 微導(dǎo)納米 | iTomic系列原子層沉積鍍膜系統(tǒng)、iTomic MW系列批量式原子層沉積鍍膜系統(tǒng)、iTomic Lite系列輕型原子層沉積鍍膜系統(tǒng)、iTomic PE系列等離子體增強(qiáng)原子層沉積鍍膜系統(tǒng)、iTronix系列化學(xué)氣相沉積鍍膜系統(tǒng)、Trancendor系列晶圓真空傳輸系統(tǒng)、夸父（KF）系列批量式ALD系統(tǒng)、祝融（ZR)系列管式PEALD/PECVD系統(tǒng)、羲和（XH）系列高溫低壓系統(tǒng)、祝融（ZR）管式PECVD系統(tǒng)、祝融（ZR）管式PEALD/PECVD集成系統(tǒng)、羲和（XH）高溫低壓系統(tǒng)、后羿（HY）系列板式ALD系統(tǒng)、iSparol系列 卷對(duì)卷ALD系統(tǒng) |