| 序號 | 代碼 | 股票名稱 | 說明 |
| 1 | SH688072 | 拓荊科技-U | PECVD、UVCure、PE-ALD、Thermal-ALD、SACVD、HDPCVD、晶圓對晶圓鍵合產品、芯片對晶圓鍵合表面預處理產品 |
| 2 | SH688147 | 微導納米 | iTomic系列原子層沉積鍍膜系統、iTomic MW系列批量式原子層沉積鍍膜系統、iTomic Lite系列輕型原子層沉積鍍膜系統、iTomic PE系列等離子體增強原子層沉積鍍膜系統、iTronix系列化學氣相沉積鍍膜系統、Trancendor系列晶圓真空傳輸系統、夸父（KF）系列批量式ALD系統、祝融（ZR)系列管式PEALD/PECVD系統、羲和（XH）系列高溫低壓系統、祝融（ZR）管式PECVD系統、祝融（ZR）管式PEALD/PECVD集成系統、羲和（XH）高溫低壓系統、后羿（HY）系列板式ALD系統、iSparol系列 卷對卷ALD系統 |
| 3 | SH688726 | 拉普拉斯 | 硼擴散、磷擴散、氧化及退火設備、低壓化學氣相沉積（LPCVD）設備、等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備、原子層沉積（ALD）設備、原子層邊緣鈍化沉積（EPD）設備、電池間隙貼膜機、激光設備 |