|
序號
|
代碼
|
股票名稱
|
說明
|
| 1 | SH688072 | 拓荊科技-U | PECVD、UVCure、PE-ALD、Thermal-ALD、SACVD、HDPCVD、晶圓對晶圓鍵合產(chǎn)品、芯片對晶圓鍵合表面預(yù)處理產(chǎn)品 |
| 2 | SH688147 | 微導(dǎo)納米 | iTomic系列原子層沉積鍍膜系統(tǒng)、iTomic MW系列批量式原子層沉積鍍膜系統(tǒng)、iTomic Lite系列輕型原子層沉積鍍膜系統(tǒng)、iTomic PE系列等離子體增強原子層沉積鍍膜系統(tǒng)、iTronix系列化學(xué)氣相沉積鍍膜系統(tǒng)、Trancendor系列晶圓真空傳輸系統(tǒng)、夸父（KF）系列批量式ALD系統(tǒng)、祝融（ZR)系列管式PEALD/PECVD系統(tǒng)、羲和（XH）系列高溫低壓系統(tǒng)、祝融（ZR）管式PECVD系統(tǒng)、祝融（ZR）管式PEALD/PECVD集成系統(tǒng)、羲和（XH）高溫低壓系統(tǒng)、后羿（HY）系列板式ALD系統(tǒng)、iSparol系列 卷對卷ALD系統(tǒng) |
| 3 | SH688726 | 拉普拉斯 | 硼擴散、磷擴散、氧化及退火設(shè)備、低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）設(shè)備、等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備、原子層沉積（ALD）設(shè)備、原子層邊緣鈍化沉積（EPD）設(shè)備、電池間隙貼膜機、激光設(shè)備 |